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一种微机械泄气结构及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-071-3548-7946
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B81B7/00;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种微机械泄气结构及其制备方法,所述通道包括泄气孔或泄气孔和泄气阀门、连接区、泄气通道主体和气体流动通道;泄气孔设置在上结构层,正对下结构层上方可动结构层固定区域旁,泄气通道主体设置为弯折或绕折微泄气通道,一端连接气体流动通道,另一端通过连接区和泄气孔相连。制备方法:在下结构层上沉积牺牲层,光刻刻蚀形成凹槽;沉积锚区释放停止结构层,光刻刻蚀或CMP去除部分释放停止膜层;沉积上结构层,光刻刻蚀形成结构层有效区域及泄气孔或泄气孔和泄气阀门;下结构层背面光刻刻蚀,刻蚀停止在牺牲层,形成气体流动通道;释放部分牺牲层,形成泄气通道主体和连接区。本发明减少了正常声压条件下器件工作时的有效声压损失。
附件下载:  (原始资料备查)

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