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一种氦质谱检漏仪的清氦系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-074-0672-8421
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01M3/20类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪的清氦系统,包括分子泵、前级泵、质谱室、电磁阀、清氦电磁阀,质谱室连接分子泵上,分子泵的排气口安装真空规管,分子泵的排气口通过电磁阀连接前级泵,前级泵进气口端再连接电磁阀分别连接在分子泵的精检口、中检口,前级泵进口端的抽空管道处安装清氦电磁阀,清氦电磁阀另一端与公共管道破空电磁阀另一端通过气管连接低压氮气源。本实用新型利用氮气对氦气的清洗作用,清洗仪器中残留的氦气,保证氦质谱检漏仪的低本底、高灵敏度。
附件下载:  (原始资料备查)

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