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一种基于高精度环形激光器光学元件的镀膜装置及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-080-3261-1881
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/35类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种基于高精度环形激光器光学元件的镀膜装置及方法,涉及激光陀螺仪技术领域,包括罐体、氩气管路,氩气管路、真空泵的输出端与罐体内部连通,在罐体内至少设有两个随动盘,联动组件用于随动盘在随驱动齿轮转动的同时发生自转;沿随动盘的周向在其背对驱动齿轮的侧壁上设有多个靶材管,在靶材管内分别设有进液管、出液管;端板下部滑动设置在导轨上;在罐体内圆周壁上固定有多个夹持器。本发明利用两组以上靶材进行的,每组靶材中包括多个呈环形阵列的靶材管,在随驱动齿轮转动的同时多个靶材管还能进行自转,进而形成圆形平面磁控溅射源,以避免靶材表面刻蚀不均的问题,并保证光学元件表面镀膜厚度均匀,以提高靶材的利用率。
附件下载:  (原始资料备查)

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