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一种膜材黄光蚀刻液及其应用【异议或纠错】

档案编号: CQ-096-7297-9666
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C09K13/06;H10K71/00;H10K59/80;H10K59/12;G03F7/32;H10K102/10类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开一种膜材黄光蚀刻液,其组成按质量百分比分别为0-25%的酸类混合物、0-5%的氯化铁、0-5%的蚀刻添加剂、0-0.5%的氟表面活化剂,余者组分为纯水;本发明还提供一种基于本发明所述膜材黄光蚀刻液的应用:部分被光刻胶覆盖的ITO样品,垂直放置在蚀刻剂中,蚀刻后,样品在去离子水中冲洗,抗蚀剂在丙酮中剥离,样品在氮气流中干燥,即得蚀刻后的ITO样品。通过使用本发明提供的膜材黄光蚀刻液进行蚀刻,可以显著降低膜材的生产成本,提高经济效益。该蚀刻液具有稳定的药水浓度,在蚀刻过程中不会产生黑边,可以实现均匀的线宽和线距。此外,使用该蚀刻液可以减少人员配比,减少人员接触,从而提高操作的安全性。
附件下载:  (原始资料备查)

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