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一种微机械堆叠结构和连杆结构及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-098-7995-4170
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种微机械堆叠结构和连杆结构及其制备方法;所述堆叠结构包括上结构层、下结构层和中间膜层;中间膜层沉积在下结构层上,刻蚀形成环形凹槽,沉积上结构层,凹槽内形成接触通道,图形化上结构层,释放接触通道外侧的中间膜层。所述连杆结构至少包括一个第一堆叠结构;所述第一堆叠结构包括上结构层、下结构层和中间膜层;中间膜层沉积在下结构层上,刻蚀形成环形凹槽,沉积上结构层,凹槽内形成接触通道,图形化上结构层,释放接触通道外侧的中间膜层。所述连杆结构还包括第一堆叠结构、第二堆叠结构、柱体或/和传统结构;第二堆叠结构包括上层结构、填充结构、停止层和下层结构。本发明降低了连杆复合膜层材料薄膜残余应力的影响。
附件下载:  (原始资料备查)

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