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一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-099-2435-0445
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01M11/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型提供一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量系统,系统包括基材治具、激光器、第一光束转换部件、第二光束转换部件。基材治具置于设定位置,用于放置待测光栅样品;激光器发射单个细光束,单个细光束经第一光束转换部件后变为多个细光束,多个细光束依次经过第二光束转换部件后作为入射光束打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位;基材治具转动带动待测光栅样品旋转至特定位置,从而确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期。在基材治具上每次移动待测光栅样品后,可以实现光栅表面部分区域内测量点位的衍射周期的测量,满足快速实现对同等条件下光栅表面区域周期进行均一性测试的需求。
附件下载:  (原始资料备查)

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