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专利信息

薄膜晶体管、显示装置及薄膜晶体管的制作方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-100-1366-4230
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32类
授权状态： 已授权
档案内容： 一种薄膜晶体管、显示装置及其制作方法,薄膜晶体管包括依次层叠设置的衬底层、栅极绝缘层、源漏极绝缘层和像素定义层；衬底层与栅极绝缘层之间设置有由第一材料制成的第一有源通道；栅极绝缘层与源漏极绝缘层之间间隔设置有由第二材料制成的第一顶栅、第二源极和第二漏极,第二源极、第二漏极和源漏极绝缘层之间设置有第二有源通道；源漏极绝缘层与像素定义层之间设置有由第三材料制成的第一源极、第一漏极以及第二顶栅。通过设置上述薄膜晶体管结构,通过三次光罩工艺即可形成第一有源通道、第一顶栅、第二源极、第二漏极、第一源极、第一漏极以及第二顶栅,减少了光罩次数,简化了薄膜晶体管的制造工艺,从而降低了制造成本。
附件下载：  (原始资料备查)

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