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一种薄膜电池刻划工艺的检测方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-100-3847-5570
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/66;H01L23/544;H01L31/0463类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种薄膜电池刻划工艺的检测方法,该检测方法中,电池组件检测结构中第i个第一子电池的第一电极、第i个第一子电池的第二电极以及第i+1个第一子电池的第一电极通过第一连接结构与第二连接结构进行了串联,因此可以获取电池组件检测结构的串联电阻,因为串联电阻中包括了第一连接结构与第二连接结构的电阻,而薄膜电池的接触电阻与第一连接结构与第二连接结构的电阻相同,因此基于串联电阻就可以确定薄膜电池的接触电阻是否满足预设要求,又因为薄膜电池的接触电阻用于表征薄膜电池刻划工艺的质量,所以确定薄膜电池的接触电阻是否满足预设要求,就可以检测出薄膜电池刻划工艺质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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