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高压电容器及其制造方法,集成器件【异议或纠错】

档案编号: CQ-101-2800-5008
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L23/64;H01L23/498;H10N97/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明实施例公开了一种高压电容器及其形成方法,其中,所述电容器包括:第一极部;位于所述第一极部上的呈堆叠设置的至少一层层间介质层;位于处于顶层所述层间介质层与所述第一极部沿垂直方向相对的位置处的一凹槽,所述凹槽从所述顶层层间介质层的上表面延伸至其内部;以及位于所述顶层层间介质层上的所述高压电容器的第二极部,所述第二极部覆盖所述凹槽以及与所述凹槽两侧连接的部分所述顶层层间介质层的上表面。通过设置凹槽,使得所述第二极部下表面边缘处的介质层厚度大于中间部分的厚度,以提高所述高压电容器的耐压。
附件下载:  (原始资料备查)

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