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三维微纳米非接触触发探头以及MEMS器件测量装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-101-8621-6311
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/24类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型涉及MEMS器件测量技术领域,具体是涉及一种三维微纳米非接触触发探头以及MEMS器件测量装置,探头由可视化模块和测量模块构成,可视化模块由白光LED、第一准直透镜、非偏振分光棱镜、偏振分光棱镜、第二准直透镜、聚焦透镜、偏振片、场透镜和CCD相机组成;测量模块由激光器、光栅、偏振分光棱镜及四分之一波片、圆柱透镜、光电集成电路和四象限传感器组成。探头基于深紫外光源以及象散原理和激光反射能量法,该探头在三轴方向的分辨率均达到1nm,触发重复性均小于30nm,以满足MEMS器件测量的需要,尤其擅长测量带有精细边缘特征的器件。同时具有体积小、精度高、调试简单、装配方便、造价低等优点。
附件下载:  (原始资料备查)

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