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共焦扫描三维成像装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-102-2080-1412
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/22;G02B21/00;G02B21/06;G02B7/04;G02B3/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本公开提供了一种共焦扫描三维成像装置,这种装置具体包括照明臂、探测臂、样品台、分光器和可调焦超表面装置;其中照明臂能够提供准直的照明光,照明光能够沿第一光路输入可调焦超表面装置;可调焦超表面装置能够聚焦照明光,用于在待测样本的表面或内部形成焦距可调的照明光焦点;探测臂用于接收照明光焦点的反射光并获取图像信息,其中,反射光沿第一光路的反向传输至分光器,并且反射光中的至少部分经由分光器的反射,沿第二光路进入探测臂;样品台用于承载待测样本,至少能够在垂直于可调焦超表面装置光轴的平面内移动。上述方案采用了超表面装置调整照明光的焦点,不需要对样品进行z轴方向的移动,就可以实现对样品深度信息的探测。
附件下载:  (原始资料备查)

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