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用于基板镀膜的传动装置及镀膜传动系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-103-5369-6261
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/56类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及基板传动技术领域,公开了用于基板镀膜的传动装置及镀膜传动系统。其中,用于基板镀膜的传动装置包括镀膜室、第一缓冲室和第二缓冲室,第二缓冲室经第二阀门与第一缓冲室连通,第二缓冲室经第三阀门与镀膜室连通,第二缓冲室上还设有第二抽气机构和第一进气机构,第二抽气机构用于抽出第二缓冲室内的气体;经第二抽气机构和第一进气机构调节第二缓冲室内的气压,在第二缓冲室与镀膜室的气压处于相同的状态下,第二阀门处于关闭状态且第三阀门处于开启状态,适于基板从第二缓冲室传动至镀膜室,本发明通过对第二缓冲室进行气压控制,使得第二缓冲室的气压与镀膜室的气压保持一致,从而在第三阀门开启时,减少镀膜室内的气压波动。
附件下载:  (原始资料备查)

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