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专利信息

一种轴连接式的巴条对准和保护装置及其工作方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-105-2943-1296
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01S5/00;G01D21/02类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种轴连接式的巴条对准和保护装置及工作方法,属于半导体测试领域,包括真空装载平台和对准/保护板,对准/保护板通过一转动轴连接在真空装载平台靠近巴条放置区域的一侧；对准/保护板的材质为具有弹性的高分子材料,在巴条测试前的上条阶段,对准/保护板通过转动轴转动至水平方向起保护作用,用于降低巴条上条阶段的掉落风险；在巴条对准阶段,对准/保护板通过转动轴转动至竖直方向并紧贴真空装载平台,并且对准/保护板的上端高度高于真空装载平台上沿,用于巴条靠在对准/保护板进行对准。本发明的对准/保护板,能够“一板两用”,在上条时降低巴条在真空控制口掉落的风险,在巴条对准时能够保证巴条整体平行。
附件下载：  (原始资料备查)

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