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一种套刻标记的筛选方法、可读存储介质及程序产品【异议或纠错】

档案编号: CQ-109-0863-7400
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F9/00;G06F30/20类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及计算光刻技术领域,特别涉及一种套刻标记的筛选方法、可读存储介质及程序产品,套刻标记的筛选方法包含以下步骤:获取待筛选套刻标记的特征参数;获取套刻测量的光学参数,并根据光学参数建立光学模型;将特征参数带入光学模型并设定至少两个在预设范围内的套刻误差,再仿真计算出待筛选套刻标记的非对称性结果;将套刻误差与非对称性结果进行直线拟合计算,得到拟合结果;根据拟合结果对待筛选套刻标记进行筛选。本发明提供的套刻标记的筛选方法可筛选出容易出现较大测量误差的套刻标记。
附件下载:  (原始资料备查)

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