东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 54744443.11315.com   

其他股份有限公司(非上市) 成立历史第11 年

专利信息

一种套刻标记可制造性快速筛选方法、装置及计算机设备【异议或纠错】

档案编号： CQ-109-0869-5420
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F9/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及光刻技术领域,其特别涉及一种套刻标记可制造性快速筛选方法、装置及计算机设备,包括以下步骤：输入预设范围的工艺窗口条件,选取其中的上限值和下限值作为极端工艺窗口条件；基于极端工艺窗口条件计算获得初始工艺变化带宽值,基于预设筛选比例对初始工艺变化带宽值进行第一筛选；对筛选后的工艺变化带宽值所对应的套刻标记计算获得待处理工艺窗口值；基于预设标准范围对待处理工艺窗口值进行第二筛选获得最终工艺窗口值；筛选出最终工艺窗口值所对应的套刻标记。本发明还提供一种装置及计算机设备。解决了套刻标记可制造性筛选耗时耗力的问题。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315