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专利信息

一种基于IPA的置换干燥方法及装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-112-4662-0699
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第F26B11/18;F26B5/16;F26B21/14;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/18类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种基于IPA的置换干燥方法及装置,应用于半导体制备领域,该方法包括：载有若干晶圆的晶圆盒置于干燥槽体的承载部件,摆动部件带动承载部件沿晶圆排列方向进行周期性摆动；其中,周期性摆动包括：以第一摆动角度进行第一阶段周期摆动,通过高辐摆动调整晶圆和晶圆盒卡槽位置关系；以第二摆动角度进行第二阶段周期摆动,通过低辐摆动定位晶圆以干燥晶圆；第一摆动角度大于第二摆动角度。本发明通过设置摆动部件,同时利用摆动部件带动晶圆沿排列方向进行大摆幅的周期性摆动,以调整晶圆与晶圆盒的位置关系,并结合小摆幅的周期性摆动,使晶圆位置锁定,并完成对晶圆的干燥过程。
附件下载：  (原始资料备查)

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