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专利信息

一种晶圆检测运输托架及方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-112-5107-1843
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L21/687;H01L21/67;H01L21/66;H01L21/677类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种晶圆检测运输托架及方法,包括底板、安装在底板上方两侧的U型托齿、安装在底板上方中部的底部托齿；在两侧的U型托齿之间和底部托齿的上方共同形成晶圆夹持空间；晶圆夹持空间的一侧或两侧设有用以检测晶圆的传感器,传感器与晶圆夹持空间内的晶圆一一对应；传感器包括信号发射端和信号接收端,信号发射端和信号接收端分别设置在晶圆夹持空间内的晶圆的两侧,信号发射端朝对应的信号接收端发射信号,信号接收端接收来自对应的信号发射端发射的信号；传感器连接有用以将传感器信号进行处理和传输的通讯模块。通过本发明实现晶圆运输过程中实时检测晶圆的状态,可实现整合半导体湿法设备工艺,减少节拍时间,提高吞吐量。
附件下载：  (原始资料备查)

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