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一种物体三维形貌测量装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-115-6846-8365
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/24类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种物体三维形貌测量装置,第一半导体激光器和第二半导体激光器发射的两束激光满足空间正交,且两束激光入射至待测物的待测表面上的同一点;待测表面反射两束光分别至第一成像透镜和第二成像透镜上,经聚焦后分别入射第一位置敏感探测器和第二位置敏感探测器。本实用新型通过两束激光同时入射待测表面的同一点,通过两个位置敏感探测器得到同一点的两个方向上的位置信息,再通过两个位置敏感探测器上的数据分解为测量区域的相对高度与测量面的空间倾斜方向,通过计算后可以分离出形貌的高度与测量面倾斜方向上的两个数据。相较于传统的测量装置仅能够测量三维形貌的高度信息而言,测量的精度更高。
附件下载:  (原始资料备查)

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