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专利信息

用于检查集成电路的动态更新【异议或纠错】

档案编号： CQ-116-2769-7059
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L21/66类
授权状态： 已授权
档案内容： 提供了用于检查集成电路的方法和系统。该方法包括：监控集成电路的检查以接收包括机器数据和缺陷检测结果的检查数据；将检查数据存储在数据库中；基于机器数据,经由数据库修改与检查相关联的多个配置方案文件中的至少一个配置方案文件；以及基于缺陷检测结果,经由数据库修改与检查相关联的多个软件参数中的至少一个软件参数。该系统包括存储器,该存储器包括指令,所述指令可由处理器执行以：监控集成电路的检查以接收包括机器数据和缺陷检测结果的检查数据并将其存储在数据库中；基于机器数据经由数据库修改与检查相关联的配置方案文件；以及基于缺陷检测结果经由数据库修改与检查相关联的软件参数。
附件下载：  (原始资料备查)

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