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一种涂布稳定的光刻胶涂布装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-117-3968-5971
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/16类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种涂布稳定的光刻胶涂布装置,涉及光刻胶技术领域,为解决现有光刻胶在涂布机上进行涂料的时候,辊轴清理不便的问题。所述光刻胶涂布装置主体上端面的一侧设置有第一挡板,所述光刻胶涂布装置主体上端面的另一侧设置有第二挡板,所述第二挡板和第一挡板之间设置有辊轴,且辊轴设置有六个,六个所述辊轴的外侧均设置哟遮挡板,且遮挡板的两端分别与第二挡板和第一挡板固定连接,所述第二挡板和第一挡板的内部均设置有毛刷,且毛刷设置有若干个,六个所述辊轴的下方设置有收集机构,所述第二挡板的一侧设置有电机。
附件下载:  (原始资料备查)

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