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一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用【异议或纠错】

档案编号: CQ-117-5293-3198
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H04R9/06;C23C16/27;C23C16/02;C23C16/56;H04R9/02;H04R31/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及声学膜材料技术领域,具体公开了一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用。本申请提供的多层金刚石振膜层级结构如A(BC)n所示;A为基底层,晶体粒度为0.5μm-2μm;B为生长层,晶体粒度为5μm-20μm;C为填充层,晶体粒度为5nm-50nm;所述n为1-5;所述多层金刚石振膜的表面粗糙度为0.5μm-1μm;所述金刚石振膜在100-1000hz频段下的声压级≥105dB,在1000-10000hz频段下的声压级≥95dB;本申请还提供了上述多层金刚石振膜的制备方法。本申请提供的多层金刚石振膜厚度均匀、表面粗糙度低、谐振与气动阻尼小,因此具备优异的声音传播速度与传播质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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