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氟氮在线动态配气方法及装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-117-5328-3952
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B01F23/10;B01F35/83类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种氟氮在线动态配气装置及方法。所述方法包括:S10,打开第二氮气供给单元向混气罐中充入氮气进行吹扫,并同时打开所述吸收槽进行吸收,期间实时检测管道内的气体浓度,当水汽浓度低于水汽设定值后吹扫结束,并进入步骤S20;S20,打开氟气输入口向所述混气罐中充入氟气,并通过第一流量计以及第二流量计控制各气体的通入比例,当氟气与氮气比例在设定值时,切换到混合气输出口输出。本发明提供氟氮在线动态配气方法,其通过第二氮气供给单元向混气罐中充入氮气进行吹扫,并同时打开所述吸收槽进行吸收,从而可以防止所述混气罐中残留空气及水汽,降低混合配气时产生的危险。
附件下载:  (原始资料备查)

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