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有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 成立历史第

一种大型拉晶炉底部热场固化结构【异议或纠错】

档案编号: CQ-117-7558-4834
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B15/00;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型提供了一种大型拉晶炉底部热场固化结构,属于单晶硅热成型领域,包括中上部热场、换热器、导流筒,石墨热场;所述中上部热场设置在所述石墨热场上,所述换热器设置在所述中上部热场内,所述石墨热场设有若干第一通孔,所述导流筒包括若干导气罩和拖杆,所述导气罩数量与所述第一通孔数量匹配,若干所述导气罩顶部与所述拖杆连接;其中所述石墨热场包括若干石墨软垫和若干固化石墨垫,所述石墨软垫设置在底部,所述固化石墨垫设置在所述石墨软垫上方,所述固化石墨垫与所述中上部热场抵接,因固化石墨垫为固体,中上部热场在固化石墨垫上不会陷入进去,提高热场整体的稳定性,同时保证保温效果。
附件下载:  (原始资料备查)

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