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股份有限公司(上市、自然人投资或控股) 成立历史第25 

一种基于气体流场优化的IPA置换干燥装置及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-118-3137-1852
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第F26B11/18;F26B5/16;F26B21/14;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/18类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种基于气体流场优化的IPA置换干燥装置及方法,应用于半导体制备领域,该装置包括干燥槽体,容纳载有若干晶圆的晶圆盒进行晶圆干燥工艺;抽排气出口,设置在干燥槽体的侧面的上方区域;控制部件,排气过程中控制干燥槽体内的气体分段式的通过抽排气出口排出。本发明通过将抽排气出口设置在干燥槽体的侧面的上方区域,以将晶圆表面的异丙醇与加热氮气形成的共沸物向上移动排出,防止晶圆盒等与晶圆接触的盲区形成水分堆积,提高了晶圆干燥的效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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