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一种碲化镉薄膜太阳能电池、制作方法及镀膜装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-131-3123-1243
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/24;C23C14/06;C23C14/54;H01L31/18;H01L31/0392;H01L31/0296;H01L31/073类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种碲化镉薄膜太阳能电池、制作方法及镀膜装置,该镀膜装置包括镀膜腔体、进料组件及位于镀膜腔体内的储料组件、加热组件及传输组件,储料组件用于存储材料源,储料组件包括至少一底面设有开口的坩埚,进料组件的至少一部分位于镀膜腔体内,其位于镀膜腔体内的部分伸入坩埚内以补充材料源,加热组件用于加热坩埚以使材料源受热升华分解为材料源蒸汽,传输组件位于储料组件的下方,用于承载基板并带动基板移动以使材料源蒸汽经由开口自上而下沉积于基板上以形成薄膜。该镀膜装置能够实现材料源蒸汽的自上而下扩散沉积,有效增加碲化镉薄膜太阳能电池的发电面积和生产效率,同时能够实现在线连续加料,进一步有效提升产能。
附件下载:  (原始资料备查)

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