光泵浦VCSEL外腔光谱合成的激光器装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-146-2001-5083
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01S5/02253;H01S5/026;H01S5/183类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及半导体激光装置技术领域,提供一种光泵浦VCSEL外腔光谱合成的激光器装置,光泵浦VCSEL外腔光谱合成的激光器装置,包括:VCSEL;小孔阵列结构,设置于VCSEL的出光方向;小孔阵列结构用于对外腔中各子单元激光的光束尺寸进行限制,起到滤波和优化光束质量的作用;聚焦元件,用于聚焦多个子单元激光;衍射元件用于为多个子单元激光进行衍射,形成衍射光;输出耦合镜,用于对衍射光提供部分反馈及输出;光泵浦元件,用于为VCSEL提供泵浦光。本发明通过外腔光谱合成结构实现多个子单元激光的合束,将VCSEL的高光束质量与光谱合束结合起来,可在光束质量不变的基础上实现更高的输出功率。
附件下载:  (原始资料备查)

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