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一种多工艺腔体设备结构【异议或纠错】

档案编号: CQ-150-2312-6765
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L31/18类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型为一种多工艺腔体设备结构,包括推舟机构、桨固定座、桨以及炉管;所述桨固定座设置于推舟机构上,一个推舟机构上设置有两个桨固定座,两个桨固定座对称设置于推舟机构的两侧;两根桨通过桨固定座分别与推舟机构连接;炉管共两根,两根炉管与两桨固定座上的桨对应设置;本实用新型通过设置两只桨共用一个推舟机构以及两根炉管共用一套炉管气路,与一套传统设备相比实现了产能的提高,与两套传统设备相比降低了设备的成本,既提高了产能,又尽可能降低设备的成本。
附件下载:  (原始资料备查)

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