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一种集成电路测试设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-230-4373-1813
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01R31/28类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种集成电路测试设备,涉及集成电路测试技术领域,包括主体,所述主体顶部设置有两组移动架,两组所述移动架内部皆设置有与对应真空吸盘相配合的移动机构。本发明当其中一组真空吸盘带动晶圆进行测试时,另外一组真空吸盘可以对其余的一组晶圆进行上料或者下料,真空吸盘带动晶圆做环形运动的同时进行一定程度的自转,进而不论移动架在任何位置时,真空吸盘的接口皆朝向外侧,进而通过气体流通机构更加便捷的对真空吸盘进行供气,真空吸盘可以相对于移动架进行移动,进而便于外界测试设备对晶圆的任意位置进行测试,整体晶圆测试效率较高,有效提升了整体的工作效率,提高了测试效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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