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一种晶圆旋转干燥装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-233-4624-0312
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第F26B11/18;F26B21/00;F26B25/00;F26B25/18;B01D46/10;B01D46/50类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种晶圆旋转干燥装置,其特征在于:包括壳体,所述壳体内设置有旋转平台,所述旋转平台上设置有工艺腔体;所述顶盖上设置有导流单元,用于向所述工艺腔体内引导气流,并产生螺旋气流;其中,所述导流单元包括导流罩,所述导流罩的罩体中心设置有扇形旋切口,使气流呈螺旋状吹向晶圆。本实用新型提供的一种晶圆旋转干燥装置中气流中不仅可以对晶圆进行保护,还可以对晶圆片表面的药液和液滴吹扫,螺旋向下的气流可对堆叠在下方的晶圆进行良好的吹扫,干燥效果明显。
附件下载:  (原始资料备查)

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