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股份有限公司(上市、自然人投资或控股) 成立历史第25 

一种用于检测并计数的晶圆扫描装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-233-4624-3799
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67;H01L21/68类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型涉及一种用于检测并计数的晶圆扫描装置,该扫描装置包括发光元器件、光纤柱、接收元件、逻辑模块、计数模块,若干光纤柱均匀平行设置,光纤柱之间留有用以晶圆插入的间隙,发光元器件和接收元件位于光纤柱一端,光纤柱另外一端设有反射装置,相邻光纤柱的反射装置在间隙内形成光传递路径,发光元器件发射的光源信号经过光纤柱传递至反射装置后,光源信号再由光传递路径传递到相邻的光纤柱端部的接收元件;接收元件接收到前一光纤柱端部的发光元器件发射的光源信号,则光传递路径内不存在晶圆,否则光传递路径内存在晶圆。本实用新型无需再校准晶圆位置,可直接对晶圆盒中晶圆进行数片,从而避免了晶圆的磕碰、损坏,降低破损率。
附件下载:  (原始资料备查)

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