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一种质谱仪激光光路装置及质谱仪【异议或纠错】

档案编号: CQ-246-6527-1798
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01J49/02;H01J49/10;H01J49/26;G02B7/02;G02B7/198类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型涉及质谱仪技术领域,公开了一种质谱仪激光光路装置及质谱仪,所述激光光路装置包括激光器、第一光学机构、第二光学机构、第三光学机构、第四光学机构和离子源机构,激光器用于发射激光,第一光学机构包括透镜一和调节平台,第二光学机构包括反射镜片和承托座,第三光学机构包括衰减片,第四光学机构包括透镜二,离子源机构包括真空腔体,真空腔体中内设有离子源极片和靶片,真空腔体连接有支架,调节平台可上下移动地与支架连接,透镜一安装在调节平台上,承托座与支架连接,反射镜片可沿x轴方向、y轴方向和z轴方向移动地连接在承托座上,衰减片可绕其光轴旋转地连接在真空腔体上,实现了对光斑大小、位置和能量的调节。
附件下载:  (原始资料备查)

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