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一种可调光学滤波装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-246-6906-9145
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B26/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种可调光学滤波装置,包括相互键合的第一透明衬底(101)和第二透明衬底(102),在第一透明衬底(101)和第二透明衬底(102)的相互面对的表面上分别设置有互相平行的第一镜面(111)和第二镜面(112),第一透明衬底(101)设置有分布在第一镜面(111)的外部周围的弹性结构(201),弹性结构(201)上远离第一透明衬底(101)的一侧通过键合物与第二透明衬底(102)键合在一起。衬底和镜面组成的镜面芯片与弹性结构(201)通过分离且不同质的材料制成由电容驱动的FPI器件,在机械强度上满足FPI器件设计的要求,可以使第一镜面(111)和第二镜面(112)保持极高的平整度。光学镜面的制造和FPI器件的组装都兼容于标准化的微机械加工,因此适合大批量生产。
附件下载:  (原始资料备查)

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