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一种外延反应器【异议或纠错】

档案编号: CQ-248-4401-2931
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B25/08;C30B25/16类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开的外延反应器包括石墨腔室和反应腔室,石墨腔室包括上半月和下半月,上半月和下半月均设置于反应腔室内,且上半月和下半月之间形成供工艺气流通过的气流通道,该外延反应器还包括测距装置,测距装置可测定上半月和下半月在反应腔室内部的位置,以实现对石墨腔室相对反应腔室位置的精确定位。在每次拆除石墨腔室之前,通过测距装置可以精确得到石墨腔室在反应腔室中的安装位置,以此为位置基准,在重新安装石墨腔室时,再次通过测距装置进行测距,根据前后数据的对比即可以清晰的判断出石墨腔室在反应腔室中的位置有无偏移,以实现石墨腔室相对于反应腔室的精准定位,从而保证了石墨腔室在重新安装后,反应腔的温场不会发生改变。
附件下载:  (原始资料备查)

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