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有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 成立历史第

一种降低单晶中氧含量的降氧装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-248-6229-9516
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B15/00;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种降低单晶中氧含量的降氧装置,降氧装置安装于下保温筒的上沿,降氧装置包括由上至下依次连接的第一支撑环、第二支撑环和第三支撑环,第一支撑环和第二支撑环之间填充有保温毡。由于石英坩埚在高温环境下与硅液反应,氧杂质残留在硅液中导致单晶硅棒的氧含量超标,进而影响单晶硅棒的品质,而本降氧装置安装在下保温筒的上沿,能够减少主加热器对石英坩埚的辐射范围,有效阻挡主加热器热量的传递,进而减少氧的析出,从而达到降氧的目的。在第一支撑环和第二支撑环之间填充有保温毡,从而进一步降低石英坩埚底部温度来减少石英坩埚的热反应,进一步降低单晶硅棒中的氧含量。
附件下载:  (原始资料备查)

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