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一种单晶炉电极护套涂层及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-248-6230-2417
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C09D1/00;C30B15/14;C30B29/06;C09D7/61;C09D7/63;C09D7/65;C09D5/25类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种单晶炉电极护套涂层及其制备方法,属于直拉单晶生产设备技术领域。该单晶炉电极护套涂层包括以下按质量百分数计的原料:氮化硅40~50%、硅溶胶5~10%、纤维素10~20%、硅烷偶联剂1~5%、水15~30%。该涂层通过将硅烷偶联剂分散于部分去离子水中,得硅烷偶联剂溶液;再将氮化硅、硅溶胶、纤维素和剩余去离子水中,搅拌均匀后加入所述硅烷偶联剂溶液,继续搅拌均匀,得涂料;最后将涂料涂抹于石英护套表面,固化后烧制,即得所述单晶炉电极护套涂层。本发明能够提高石英护套的抗高温性能,同时热膨胀系数低,能够降低石英护套的晶体热膨胀,能够有效减少单晶炉的热损失、提高了单晶炉的保温性能。
附件下载:  (原始资料备查)

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