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一种应用于单晶炉热场清洁的激光清理装置及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-248-6230-3503
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B35/00;F27D25/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种应用于单晶炉热场清洁的激光清理装置及方法,所述装置包括内置有激光发射器的机柜,激光发射器通过光纤线连接有激光清洗头,本发明装置采用激光清洗头清洁单晶炉热场,具有无接触和适用于各种材质的特点,其清洗洁净度高,安全可靠,不会损害操作人员健康。本发明方法通过调整和控制激光工艺参数(如脉冲频率、输出占空比、电机摆动频率等),有选择性地清洁污物,能够对单晶炉热场内的石墨件进行无损清洁。
附件下载:  (原始资料备查)

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