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有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 成立历史第

一种用于单晶硅拉制过程中参数偏离的自动提示方法及系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-251-9876-9175
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B15/20;G06F17/10;G06F17/18;G06F18/22;G06F18/10;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种用于单晶硅拉制过程中参数偏离的自动提示方法及系统,包括以下步骤:使用数据采集设备实时采集单晶硅拉制过程中的工艺参数,并将实时采集的工艺参数进行预处理,得到预处理后的工艺参数;基于预处理后的工艺参数,使用逻辑算法和规则引擎以检测任何偏离预期的情况;根据数据分析的结果得到潜在的参数偏离情况,并根据潜在的参数偏离情况,生成相应的错误信息;将错误信息以预设的形式提示操作人员;其中,数据采集设备包括多个温度传感器、多个压力传感器,工艺参数包括拉制温度、拉制压力以及硅液重量。本发明用于解决现有技术通过人工的方式进行参数监测,由于无法及时发现参数偏离,导致拉制效率低和晶棒质量不佳的技术问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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