安徽芯动联科微系统股份有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 34720152.11315.com   

股份有限公司（外商投资、上市） 成立历史第13 年

专利信息

一种具有应力缓冲结构的MEMS芯片及其制造方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-259-9630-5302
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B81B7/00;B81C1/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种具有应力缓冲结构的MEMS芯片及其制造方法,具体是通过半导体加工工艺将圆片级封装的MEMS圆片的底板SOI圆片的底氧化层形成底氧化层图形,露出部分底硅层表面；然后以底氧化层图形为掩膜,对MEMS圆片进行深硅蚀刻,露出埋氧层表面,底硅层被蚀刻成应力缓冲结构,形成划片区、外框、应力缓冲弹簧、空窗区、连接区以及释放孔；再将MEMS圆片浸入HF或缓冲HF溶液中,形成中心埋氧图形,形成具有应力缓冲结构的MEMS圆片；最后切割圆片完成具有应力缓冲结构的MEMS芯片的制造。本发明制造的具有应力缓冲结构的MEMS芯片的应力缓冲结构通过中心埋氧连接在MEMS芯片的底部,达到降低封装应力的目的,其优点在于工艺简单、芯片面积小、封装成品率高、成本低。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315