安徽芯动联科微系统股份有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 34720152.11315.com   

股份有限公司（外商投资、上市） 成立历史第13 年

专利信息

具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪【异议或纠错】

档案编号： CQ-259-9631-5059
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G01C19/5649;G01C19/5656;G01C19/5663类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪,属于传感器芯片设计技术领域,具体是将MEMS陀螺仪的两个可动质量块通过驱动弹簧组件连接在两组驱动频率调节结构的质量块锚点上,两个可动质量块沿Y轴方向对称分布,驱动频率调节电极的固定电极部分制作在紧邻质量块锚点的调节电极锚点上,驱动频率调节电极的可动电极部分沿X轴对称分布于驱动弹簧组件两侧,可动电极部分与固定电极部分构成驱动频率调节电容,这样就减少了衬底不对称形变对质量块锚点与驱动电极锚点间距的影响,也就是稳定了驱动频率调节静电力,改进MEMS陀螺仪性能,提高了MEMS陀螺仪在不同温度下、不同应力环境中的稳定性。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315