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双层式兆声波清洗系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-261-2498-5464
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种双层式兆声波清洗系统,包括底座、超声波信号发生装置、浴槽、用以晶圆清洗的清洗槽,超声波信号发生装置安装在底座上,底座为可动底座,底座运动改变超声波信号发生装置相对清洗槽发射声波的方向;浴槽安装在超声波信号发生装置上端,浴槽内盛装有声波传导介质;清洗槽安装在浴槽上方,清洗槽的底部浸入浴槽内的声波传导介质中,清洗槽中盛装有清洗液。本发明通过底座的运动改变超声波信号发生装置的声波方向,改变晶圆片在声波方向的投影面积,进而提升清洗效果和效率,同时,声波方向的改变在清洗槽的底部产生压差,使得聚集在清洗槽底部的气泡消除,减少了超声波的能量损失,提升清洗效果。
附件下载:  (原始资料备查)

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