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一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-261-2500-4040
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第F26B9/06;F26B5/16;F26B21/14;F26B25/00;F26B25/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法,应用于晶圆干燥技术领域,干燥槽体用于对晶圆进行干燥;缓冲槽体通过第一通道与外部的异丙醇输入端连通,以通过第一通道向缓冲槽体内注入异丙醇;缓冲槽体通过第二通道与干燥槽体连通,以通过第二通道向干燥槽体输送异丙醇;干燥槽体通过第三通道与缓冲槽体连通,以通过第三通道将使用后的异丙醇输送至缓冲槽体;缓冲槽体与提纯装置相连通,提纯装置用于对接收的混合体进行提纯。在干燥槽体外设置一个缓冲槽体,异丙醇会经过缓冲槽体,该缓冲槽体还会接收干燥槽体所排出的使用后的异丙醇。该缓冲槽体所连接的提纯装置可以对缓冲槽体中包含的异丙醇进行提纯,使得缓冲槽体中的异丙醇可以循环利用。
附件下载:  (原始资料备查)

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