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一种正交电磁感应角位移传感器及垂直度误差补偿系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-261-5800-7492
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01D5/20;G06N3/086;G06N3/126;G01B7/30;G01B7/305;G01B21/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种正交电磁感应角位移传感器及垂直度误差补偿系统,涉及角位移传感器领域,该系统包括正交电磁感应角位移传感器用于测量位移信号,输出测量所得的行波信号;编码器用于将正交电磁感应角位移传感器测量所得的行波信号转换为数字信号,并输出相应的脉冲或数字值;误差补偿模块用于利用神经网络和遗传算法对因安装制造误差及外部干扰所引起的测量误差进行补偿;该传感器包定尺部和动尺部;动尺部的下表面覆盖有电极结构,定尺部的上表面覆盖有电极结构;电极结构包括内圈电极以及沿着内圈电极外边缘设置的外圈电极,内圈电极和外圈电极的奇数极片和偶数极片分别相连。本发明为实现高精度测量和控制提供了关键的技术支持。
附件下载:  (原始资料备查)

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