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有限责任公司(自然人投资或控股) 成立历史第

一种MEMS压力传感器【异议或纠错】

档案编号: CQ-268-0388-3040
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01L1/16;B81B7/02;G01L9/08类
授权状态: 已授权
档案内容: 公开了一种MEMS压力传感器,MEMS压力传感器,包括:衬底;热电堆结构,位于所述衬底上;键合层,位于所述衬底上,围绕所述热电堆结构;透明层,位于所述键合层远离所述衬底的表面,所述透明层靠近所述衬底的表面开设有凹槽,所述凹槽内具有透镜结构;以及反射层,位于所述透明层远离所述键合层的表面,所述反射层中具有贯穿所述反射层的通孔;其中,所述通孔的位置与所述凸透镜的位置相对应,所述通孔用于接收红外光,使得红外光照射至所述透明层,进而经由透镜结构照射至所述热电堆结构。
附件下载:  (原始资料备查)

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