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空气隙结构及其形成方法、体声波谐振器及其制造方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-269-3249-4621
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种体声波谐振器的制造方法,包括:提供衬底;形成空气隙构建层以及下电极,该空气隙构建层位于衬底待形成空气隙的位置上,该下电极位于空气隙构建层上且其下表面边缘区域悬空;在衬底上形成平面化层,该平面化层包括主体部和支撑部,该主体部环绕下电极且其上表面与下电极上表面构成一平坦表面,支撑部位于下电极下表面边缘区域下方并对其形成支撑;在下电极和平面化层上依次形成压电层和上电极;其中该制造方法还包括:在高温环境或低温环境中对空气隙构建层进行处理,处理后的空气隙构建层体积收缩,在下电极下方形成空气隙。本发明还提供一种体声波谐振器。本发明具有便于工艺管控、压电层生长质量优以及工艺流程简单的优点。
附件下载:  (原始资料备查)

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