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一种声波器件及其制作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-269-3251-4401
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种声波器件及其制作方法,该声波器件包括至少两个区域,该至少两个区域中至少存在一个区域设置有第一谐振器,与第一谐振器所在的区域相邻的至少一个区域设置有第二谐振器,该第一谐振器包括第一压电结构,该第二谐振器包括反射结构和第二压电结构,该反射结构位于第一压电结构与第二压电结构之间,且第一压电结构的层叠方向与第二压电结构的层叠方向相互垂直。本申请提供的技术方案通过采用包含反射结构和压电结构的薄膜体声波谐振器,防止与其相邻的薄膜体声波谐振器存在横向声能量泄露的问题,提高了声波器件的品质因数,同时也提高了晶圆单位面积利用率。
附件下载:  (原始资料备查)

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