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一种激光气相沉积制备无孔洞锑棒装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-273-1894-3486
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/28;C23C14/54;C23C14/26;C23C14/14;C22B30/02;C22B9/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明一种激光气相沉积制备无孔洞锑棒装置,包括底座和位于底座上部的设备壳体,设备壳体内部水平方向依次设有由隔板分隔的相互连通的蒸发腔、第一沉积腔、第二沉积腔和第三沉积腔,蒸发腔包括外部设有加热装置的熔炼坩埚和位于蒸发腔一侧的真空连接管和进气管,第三沉积腔顶部设有排气管,第一沉积腔、第二沉积腔和第三沉积腔下部设有三段式保温装置,第二沉积腔底部设有第二基板,第二沉积腔上部位于第二基板的正上方设有第二激光器,以便于第二激光器将蒸发的气相锑精准沉积在第二基板上部并逐渐沉积为锑棒。本发明可防止锑蒸发过程中与空气发生接触氧化,可稳定控制锑棒成型速度,防止锑棒产生缩孔和孔洞,提高了锑棒的制备质量和效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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