商标/专利/著作权/植物新品种信息
档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
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用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的... | 专利权 | 良好信息 | 2013-03-20 |
具有多个外延反应腔的MOCVD系统及其操作方... | 专利权 | 良好信息 | 2012-08-22 |
一种外延片托盘支撑旋转联接装置 | 专利权 | 良好信息 | 2012-05-30 |
用于MOCVD反应腔中反应气体输送与均匀分布... | 专利权 | 良好信息 | 2012-04-25 |
具有多个外延反应腔的MOCVD系统及其操作方... | 专利权 | 良好信息 | 2011-10-12 |
一种外延片托盘及与其配合的支撑和旋转联接装置 | 专利权 | 良好信息 | 2010-12-22 |
用于MOCVD反应腔中反应气体输送与均匀分布... | 专利权 | 良好信息 | 2010-12-15 |
用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的... | 专利权 | 良好信息 | 2010-12-08 |
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