（发起人）
| 股东 （发起人） |
认缴出资额（万元） | 认缴出资时间 | 认缴出资方式 | 实缴出资额（万元） | 实缴出资时间 | 实缴出资方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业 | 136.0635 | 2020-08-28 | 货币 | 136.0635 | 2020-08-28 | 货币 |
| 上海鸿霆企业管理咨询合伙企业（有限合伙） | 118.9977 | 2020-03-12 | 货币 | 118.9977 | 2020-03-12 | 货币 |
| 上海灏马企业管理咨询合伙企业（有限合伙 | 30.7668 | 2020-03-12 | 货币 | 30.7668 | 2020-03-12 | 货币 |
| 李雪 | 118.9977 | 2020-03-11 | 货币 | 118.9977 | 2020-03-11 | 货币 |
| 上海照芯管理咨询合伙企业(有限合伙) | 226.7726 | 2020-08-28 | 货币 | 226.7726 | 2020-08-28 | 货币 |
