（发起人）
| 股东 （发起人） |
认缴出资额（万元） | 认缴出资时间 | 认缴出资方式 | 实缴出资额（万元） | 实缴出资时间 | 实缴出资方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 侯玉清 | 223.1206 | 2020-03-13 | 货币 | 其它 | ||
| 珠海鸿图芯盛股权投资基金合伙企业（有限合伙） | 226.7726 | 2020-08-28 | 货币 | 其它 | ||
| 上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 136.0635 | 2020-08-28 | 货币 | 其它 | ||
| 上海张江火炬创业投资有限公司 | 136.0635 | 2020-08-28 | 货币 | 其它 | ||
| 上海培瀚企业管理咨询合伙企业（有限合伙） | 167.4892 | 2020-03-13 | 货币 | 其它 | ||
