（发起人）
| 股东 （发起人） |
认缴出资额（万元） | 认缴出资时间 | 认缴出资方式 | 实缴出资额（万元） | 实缴出资时间 | 实缴出资方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 北京集成电路装备产业投资并购基金（有限合伙） | 533.0436 | 2021-09-30 | 货币 | 533.0436 | 2021-09-30 | 货币 |
| 上海浦东海望集成电路产业私募基金合伙企业（有限合伙） | 319.8261 | 2014-02-18 | 货币 | 319.8261 | 2014-02-18 | 货币 |
| 共青城百脉股权投资合伙企业（有限合伙） | 5880.1739 | 2014-02-14 | 5880.1739 | 2014-02-14 | ||
| 杭州源禧股权投资合伙企业（有限合伙） | 533.0436 | 2021-09-30 | 货币 | 533.0436 | 2021-09-30 | 货币 |
| 厦门彤晟投资合伙企业（有限合伙） | 251.4356 | 2020-12-31 | 货币 | 251.4356 | 2020-12-31 | 货币 |
